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°í³óµµ Particle Analyzer (FPAR - 1000 AS)

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ÃøÁ¤ Ç׸ñ
ÀÔÀÚÁö¸§
3nm ~ 5000nm
1nm ~ 5000nm( °í°¨µµ »ç¾ç)
Äò¶õÆ® Æò±Õ ÀÔÀÚ Áö±Ý
È÷½ºÅä±×·¥ Æò±Õ ÀÔÀÚ Áö¸§(D50)
ºÐÆ÷ÇØ¼®
CONTIN ¹ý
MARQUARDT ¹ý
NNLS ¹ý
CUMULANT ¹ý

´ëÀÀ ³óµµ ¹üÀ§
(Ç¥ÁØ ¶óÅØ½º 204nmÀÇ °æ¿ì)

0.001 ~10 %
³óÈİè ÇÁ·Îºê(Ç¥ÁØ)
0.01 ~ 10 %
Èñ¹Ú°è ÇÁ·Îºê(¿É¼Ç)
0.001 ~ 0.01%

Á¦Ç°Æ¯Â¡
  • ÀÚµ¿»ùÇÃÀ» »ç¿ëÇϸé 50°³±îÁö ½Ã·á¸¦ ÀÚµ¿ ¿¬¼Ó ÃøÁ¤ °¡´É
  • ¹±Àº¿ë¾×À¸·ÎºÎÅÍ ÁøÇÑ¿ë¾×±îÁö, Æø³ÐÀº ³óµµ ¹üÀ§·ÎÀÇ °í¼Ó¡¤°íÁ¤¹ÐÀÇ ÀÔÀÚ Áö¸§¡¤ÀÔÀÚ
    Áö¸§ ºÐÆ÷(À԰桤ÀÔ°æ ºÐÆ÷) ÃøÁ¤ÀÌ °¡´É
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  • »ùÇÿÂÁ¶, ÃÊÀ½ÆÄ ¼¼Á¤ µî, ÇÊ¿äÇÑ ±â´ÉÀ» ¸ðµÎ ³»ÀåÇÑ A3»çÀÌÁîÀÇ ÄÄÆÑÆ® ¼³°è

ÀÀ¿ëºÐ¾ß
»öÀç °ø¾÷¿¡ À־ÀÇ ¾È·á¡¤À×Å©ÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý Á¦¾î¡¤ÀÔÀÚ Áö¸§ °ü¸®
¼¼¶ó¹Í »ö·á °¡°øºÐ¾ß slurryÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý Á¦¾î, ºÐ»êÁ¦È¿°ú
¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß ¿¬¸¶ ÀÔÀÚÀÇ ÀÔÀÚ Áö¸§ °ü¸®
°íºÐÀÚ¡¤È­Çаø¾÷ ºÐ¾ß ¿¡¸ÖÁ¯, ¶óÅØ½ºÀÇ ºÐ»ê ÀÀÁý Á¦¾î, ÀÔÀÚ Áö¸§ °ü¸®
ÀǾàǰ ½Äǰ°ø¾÷ºÐ¾ß ¿¡¸ÖÁ¯ÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý Á¦¾î, ¸®Æ÷¼Ø µîÀÇ ÀÔÀÚ Áö¸§ °ü¸®
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±¤¿ø

¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú

°ËÃâ±â ±¤ÀüÀÚÁõ¹è°ü(Æ÷ſī¿îÆÃ ¹æ½Ä)
»ùÇà ¿Âµµ ¹üÀ§ 10 ¢¦ 70¡É
¿Âµµ Á¶Àý ¹æ½Ä ÀüÀÚ½Ä ³Ã°¢ ¼ÒÀÚ, È÷ÅÍ
Àü¿ø AC100V ¡¾ 10%50/60Hz 300VA
Ä¡¼ö 320(W)¡¿ 507(D)¡¿284(H) mm
Áß·® ¾à 22 kg

ÀÚµ¿»ùÇà »ç¾ç
»ùÇÃ

¿øÅëÇü ¼¿(¶Ñ²± Æ÷ÇÔ) »ùÇà ¿ë·®1 2.5ml

»ùÇà ¼ö Çѹø¿¡ 50°³±îÁö žÀç °¡´É
¿Âµµ È÷ÅÍ¡¤Æç ÃÖ ¹æ½Ä
»ùÇà ¿Âµµ ¹üÀ§ 15 ~ 40%
ÃøÁ¤ ³óµµ ¹üÀ§ 0.001% ~ 10%(FPAR-1000À¸·Î Á¢¼Ó½Ã)

ÃøÁ¤»ç·Ê
  • À¯±â¾È·á - ÇÁ¸°ÅÍ¿ë À×Å©
  • ¹«±â ºÐü - CMP slurry
  • ¸ÞÀÌÄ¿ÀÇ Ä¿ÇÇ À½·á ºñ±³

¿É¼Ç
  • Èñ¹Ú°è ÇÁ·Îºê

 

°ü·ÃÁ¦Ç°
  • FPAR-1000