| °í³óµµ
Particle Analyzer (FPAR - 1000 AS) |
 |
¹±Àº¿ë¾×À¸·ÎºÎÅÍ ÁøÇÑ¿ë¾×±îÁö, Æø³ÐÀº ³óµµ ¹üÀ§·ÎÀÇ °í¼Ó¡¤°íÁ¤¹ÐÀÇ ÀÔÀÚ Áö¸§¡¤ÀÔÀÚ Áö¸§ ºÐÆ÷(À԰桤ÀÔ°æ ºÐÆ÷) ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¹Ì¸³ÀÚ Æ¯À¯ÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý °úÁ¤À» ¸ð´ÏÅÍ ÇÏ´Â ±â´É µî, ¿¬±¸¡¤Ç°Áú°ü¸®ÀÇ Æø³ÐÀº ¿ëµµ·Î »ç¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
|
|
ÃøÁ¤ Ç׸ñ |
| ÀÔÀÚÁö¸§ |
| 3nm ~ 5000nm |
| 1nm ~ 5000nm( °í°¨µµ »ç¾ç) |
Äò¶õÆ® Æò±Õ ÀÔÀÚ Áö±Ý
È÷½ºÅä±×·¥ Æò±Õ ÀÔÀÚ Áö¸§(D50) |
|
| ºÐÆ÷ÇØ¼® |
| CONTIN ¹ý |
| MARQUARDT ¹ý |
| NNLS ¹ý |
| CUMULANT ¹ý |
|
|
´ëÀÀ ³óµµ ¹üÀ§
(Ç¥ÁØ ¶óÅØ½º 204nmÀÇ °æ¿ì)
|
| 0.001 ~10 % |
³óÈİè ÇÁ·Îºê(Ç¥ÁØ)
0.01 ~ 10 % |
Èñ¹Ú°è ÇÁ·Îºê(¿É¼Ç)
0.001 ~ 0.01% |
|
|
Á¦Ç°Æ¯Â¡ |
- ÀÚµ¿»ùÇÃÀ» »ç¿ëÇϸé 50°³±îÁö ½Ã·á¸¦ ÀÚµ¿ ¿¬¼Ó ÃøÁ¤ °¡´É
- ¹±Àº¿ë¾×À¸·ÎºÎÅÍ ÁøÇÑ¿ë¾×±îÁö, Æø³ÐÀº ³óµµ ¹üÀ§·ÎÀÇ °í¼Ó¡¤°íÁ¤¹ÐÀÇ ÀÔÀÚ Áö¸§¡¤ÀÔÀÚ
Áö¸§ ºÐÆ÷(À԰桤ÀÔ°æ ºÐÆ÷) ÃøÁ¤ÀÌ °¡´É
- ¹Ì¸³ÀÚ Æ¯À¯ÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý °úÁ¤À» ¸ð´ÏÅÍ ÇÏ´Â ±â´É µî, ¿¬±¸¡¤Ç°Áú°ü¸®ÀÇ Æø³ÐÀº ¿ëµµ·Î
»ç¿ë °¡´É
- ½Å°³¹ßÀÇ ÃøÁ¤ ÇÁ·Îºê¿¡ ÀÇÇØ, ÁøÇÑ ¿ë¾×À¸·ÎÀÇ °íÁ¤¹ÐÀÇ ÀÔÀÚ Áö¸§ ÃøÁ¤¿¡ ´ëÀÀ
- »ùÇÿÂÁ¶, ÃÊÀ½ÆÄ ¼¼Á¤ µî, ÇÊ¿äÇÑ ±â´ÉÀ» ¸ðµÎ ³»ÀåÇÑ A3»çÀÌÁîÀÇ ÄÄÆÑÆ® ¼³°è
|
|
ÀÀ¿ëºÐ¾ß |
| »öÀç °ø¾÷¿¡ ÀÖ¾î¼ÀÇ ¾È·á¡¤À×Å©ÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý
Á¦¾î¡¤ÀÔÀÚ Áö¸§ °ü¸® |
| ¼¼¶ó¹Í »ö·á °¡°øºÐ¾ß |
slurryÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý Á¦¾î, ºÐ»êÁ¦È¿°ú |
| ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß |
¿¬¸¶ ÀÔÀÚÀÇ ÀÔÀÚ Áö¸§ °ü¸® |
| °íºÐÀÚ¡¤ÈÇаø¾÷ ºÐ¾ß |
¿¡¸ÖÁ¯, ¶óÅØ½ºÀÇ ºÐ»ê ÀÀÁý Á¦¾î, ÀÔÀÚ
Áö¸§ °ü¸® |
| ÀǾàǰ ½Äǰ°ø¾÷ºÐ¾ß |
¿¡¸ÖÁ¯ÀÇ ºÐ»ê¡¤ÀÀÁý Á¦¾î, ¸®Æ÷¼Ø µîÀÇ
ÀÔÀÚ Áö¸§ °ü¸® |
| ±¤Ã˸ŠºÐ¾ß |
»êÈ Æ¼Åº ÀÔÀÚÀÇ ºÐ»ê »óÅ °ü¸® |
|
»ç¾ç |
| ±¤¿ø |
¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú
|
| °ËÃâ±â |
±¤ÀüÀÚÁõ¹è°ü(Æ÷ſī¿îÆÃ ¹æ½Ä) |
| »ùÇà ¿Âµµ ¹üÀ§ |
10 ¢¦ 70¡É |
| ¿Âµµ Á¶Àý ¹æ½Ä |
ÀüÀÚ½Ä ³Ã°¢ ¼ÒÀÚ,
È÷ÅÍ |
| Àü¿ø |
AC100V ¡¾ 10%50/60Hz 300VA |
| Ä¡¼ö |
320(W)¡¿ 507(D)¡¿284(H)
mm
|
| Áß·® |
¾à 22 kg |
|
ÀÚµ¿»ùÇà »ç¾ç |
| »ùÇÃ |
¿øÅëÇü ¼¿(¶Ñ²± Æ÷ÇÔ) »ùÇà ¿ë·®1 2.5ml
|
| »ùÇÃ ¼ö |
Çѹø¿¡ 50°³±îÁö žÀç °¡´É |
| ¿Âµµ |
È÷ÅÍ¡¤Æç ÃÖ ¹æ½Ä |
| »ùÇà ¿Âµµ ¹üÀ§ |
15 ~ 40% |
| ÃøÁ¤ ³óµµ ¹üÀ§ |
0.001% ~ 10%(FPAR-1000À¸·Î
Á¢¼Ó½Ã) |
|
ÃøÁ¤»ç·Ê |
- À¯±â¾È·á - ÇÁ¸°ÅÍ¿ë À×Å©
- ¹«±â ºÐü - CMP slurry
- ¸ÞÀÌÄ¿ÀÇ Ä¿ÇÇ À½·á ºñ±³
|
|
¿É¼Ç |
|
|
|
°ü·ÃÁ¦Ç° |
|
|
|